تولید محصولات نیترید سیلیکون با استفاده از پخت واکنشگر ، خرد کردن پودر سیلیکون ریز ریز (اندازه ذرات معمولاً کمتر از 80μm است) با فشار دادن دستگاه یا فشار دادن ایزواستیک است. پس از خشک شدن بدنه سبز ، در طی فرآیند شلیک ازت به میزان 1400 13 1450 ℃ ازت گرم می شود. این ماده توسط نیترید همزمان تولید می شود. با این روش تولید ، شرایط مواد اولیه ، فرایند شلیک و شرایط جو تأثیر زیادی در عملکرد محصول دارد. پودر سیلیکون حاوی ناخالصی های زیادی ، از جمله آهن ، کلسیم ، A ، Ti و غیره است.
آهن به عنوان یک کاتالیزور در طول واکنش در نظر گرفته می شود. این می تواند انتشار سیلیکون را ترویج کند ، اما در عین حال باعث ایجاد نقایصی مانند منافذ نیز می شود. عملکرد اصلی آهن به عنوان یک افزودنی: می تواند در طول واکنش به عنوان یک کاتالیزور عمل کند تا تشکیل یک فیلم اکسید SiO2 در سطح محصول را ترویج کند. یک سیستم ذوب آهن و سیلیکون تشکیل می دهند ، و نیتروژن در FeSi2 مایع حل می شود تا شکل گیری β-Si3N4 را ترویج کند.
اما اگر ذرات آهن خیلی بزرگ باشند یا محتوای آن زیاد باشد ، نقص هایی مانند منافذ نیز در محصول ظاهر می شود که باعث کاهش عملکرد می شود. به طور کلی مقدار آهن اضافه شده 0 تا 5 درصد است. ناخالصی هایی مانند Al ، Ca و Ti به راحتی eutectics را با سیلیکون تشکیل می دهند. مقدار اضافی مناسب می تواند باعث افزایش پخت و پز و بهبود عملکرد محصول شود. هرچه اندازه ذرات پودر سیلیکون ظریف تر باشد و هرچه سطح خاص آن بزرگتر باشد ، دمای شلیک کمتر می شود. در مقایسه با پودر سیلیکون با اندازه ذرات درشت ، مقدار α-Si3N4 موجود در محصول در مقایسه با پودر سیلیکون با اندازه ذرات درشت بیشتر می شود. کاهش اندازه ذرات پودر سیلیکون می تواند باعث کاهش اندازه ریزگردهای محصول شود. نسبت اندازه ذرات مناسب می تواند تراکم محصول را افزایش دهد.
